Öljydiffuusiopumput

Öljydiffuusiotyhjiöpumppuja käytetään nykyisin pääasiassa suurikokoisissa suurtyhjiöjärjestelmissä.
Tyypillisiä käyttökohteita ovat:

• Tyhjiöpinnoitus
• Metallurgia ja metallien lämpökäsittely
• Juotosuunit

Painealue: 10-8 mbar – 10-2 mbar
Pumppausnopeus: 8000 l/s – 50000 l/s

Öljydiffuusiopumppujärjestelmä vaatii ympärilleen muita laitteita kuten mekaanisia tyhjiöpumppuja, venttiileitä, liitososia,  tyhjiömittareita sekä ohjauksen.