Turbomolekyylipumput
|
|
Turbomolekyylipumppuja käytetään suurtyhjiö- ja ultratyhjiöalueella. Tyypillisiä käyttökohteita ovat mittalaitteet, puolijohdeteollisuuden pinnoitus- ja syövytysprosessit, optisten tuotteiden pinnoitus. kuvaputkien ja neonputkien valmistus, tyhjiöeristys sekä muut kohteet joissa tarvitan hyvä tyhjiö. Turbomolekyylipumppu laakeroidaan joko keraamisilla rasvavoidelluilla kuulalaakereilla tai magneettilaakereilla.
|
