Kapasitiivisen anturin keraamisen kalvon sisäpuoli on pinnoitettu sähköä johtavaksi ja se toimii sähköisen kapasitanssin toisena elektrodina. Kalvon muuttaessa paineen vaikutuksesta muotoa, elektrodien etäisyys muuttuu ja siten myös sähköinen kapasitanssi. Tämä muutos muunnetaan sähköiseksi signaaliksi.

Kaasun koostumus tai ympäristön paineen vaihtelut eivät vaikuta mittaustulokseen. Herkän rakenteen ansiosta anturin mittausalue on noin neljä kertaluokkaa. Antureita valmistetaan eri paine-alueille.

Mittausalue:
- 1E-4 mbar (0,0001 mbar) …1000 mbar  normaalikotelolla
- 1E-5 mbar (0,00001 mbar) …1000 mbar termostoidulla kotelolla

Keraamisen kalvon ansiosta ominaista näille antureille on korroosiota kestävä rakenne, hyvä paineen kesto sekä lämpötilastabiilisuus. Ulostulosignaali on lineaarinen. Näillä antureilla voidaan korvata suoraan tavanomaisia metallikalvolla varustettuja muiden valmistajien kapasitiivisia antureita. Hyvän mittaustarkkuuden ansiosta näitä käytetään myös referenssianturina tyhjiömittareita kalibroitaessa.
Antureita varten on saatavissa yhdellä tai useammalla mittauskanavalla varustettuja  ohjaus- ja näyttöyksiköitä.