VPM-5 SmartPirani™ -anturi perustuu patenttia odottavaan tekniikkaan, joka tarjoaa luokkansa parasta suorituskykyä ja luo uuden mittapuun muille antureille laajentamalla tyhjiömittareiden mittausaluetta 1–3 dekadin verran.
SmartPirani™ käyttää uutta mikroelektromekaanista MEMS-anturitekniikkaa yhdistettynä tarkkaan digitaaliseen signaalinkäsittelyarkkitehtuuriin ja kehittyneisiin mittausalgoritmeihin. Nämä ominaisuudet löydät vain Sens4-anturista. Tarkkuusautomatisoitujen valmistus- ja kalibrointiprosessien avulla varmistetaan tuotteen tinkimätön mittausteho.
Lämmönjohtavuutta mittaaville laitteille tavanomainen riippuvuus kaasusta on eliminoitu integroimalla MEMS-kalvoanturi, joka tarjoaa kalliimpia kapasitanssimittareita vastaavaa suorituskykyä. Tämän ominaisuuden avulla tyhjiöjärjestelmän tuuletusprosessia voidaan ohjata tarkemmin ja estää ylipaineistuminen.
Edut
• Ultraleveä 9 dekadin mittausalue
• Kehittynyt digitaalinen signaalinkäsittely tarjoaa vertaansa vailla olevaa hinta-tehosuhdetta
• Helppo ohjelmoida S4-Connect™ -USB-ohjelmointilaitteella
• Ohjelmoitava 0–10 V DC lähtöjännite
• Digitaalinen RS232- tai RS485-liitäntä
• StableZero™-virhekompensointi
• Valinnainen puolijohderele prosessin ohjaukseen
Käyttökohteet
• Massaspektrometrit
• Skannauselektronimikroskoopit
• Lämpökäsittely uunissa
• Lasin, optiikan, työkalujen jne. PVD-pinnoitus
• Kylmälaitteiden huolto ja valmistus
• Puolijohteiden käsittely
Ohjelmoitavat asetukset ja parametrit
Anturin asetukset ja parametrit voidaan ohjelmoida tietokoneella tai älypuhelimella innovatiivisen digitaalisen S4-Connect™ -liitännän välityksellä. RS232- tai RS485-sarjaliitännällä varustetut anturit voidaan määrittää joko sarjaliitännän tai S4-Connect™ -liitännän kautta. Digitaalinen liitäntä mahdollistaa diagnostiikan, ennakoivan huollon, kalibroinnin, raja-arvojen määrityksen, analogisen lähdön skaalauksen ja reaaliaikaisten mittausarvojen välityksen. S4-Connect™ -USB-ohjelmointilaite ja ilmainen, helppokäyttöinen määritysohjelmisto on kytke-ja-käytä–ratkaisu anturin ohjelmointiin, reaaliaikaisten mittausarvojen tarkasteluun ja diagnostiikkaan.
StableZero™-virhekompensointi
SmartPirani™-anturi käyttää innovatiivista aktiivista lämpötilakompensaatiota ja kalibrointia, jonka tarjoaa erittäin vakaan nollapisteen. StableZero™-teknologia mahdollistaa laajan dynaamisen alueen ja poistaa vanhoista pirani- ja konvektioantureista tutun tarpeen nollata anturi nollapisteen muuttumisesta johtuen. Aktiivinen StableZero™-lämpötilakompensointi kompensoi myös mittaussignaalivirheet, jotka johtuvat ympäristön lämpötilan muutoksista.
Luotettava ja kestävä releohjaus
Kolmea itsenäistä puolijohdekytkinrelettä voidaan käyttää pumppujen, venttiilien, lukituspiirien ja muiden ulkoisten laitteiden ohjaamiseen. Perusohjauksessa käytetään päälle/pois -kytkentää ohjelmoitavalla raja-arvolla ja hystereesiarvolla. Kukin puolijohderele voidaan asettaa avautuvaksi tai sulkeutuvaksi. Sähkömekaanisiin releisiin verrattuna puolijohdereleet ovat luotettavampia ja nopeampia. Lisäksi niissä ei ole kaaria muodostavia koskettimia eivätkä ne luo sähkömagneettisia häiriöitä kytkeytyessään. SmartPirani™-releet on suunniteltu kestämään ja ne ovat UL-luetteloituja, CSA-tunnustettuja ja EN/EIC 60950-1-sertifioituja kriittisten tyhjiöprosessien ohjaamiseen ja syklittäiseen käyttöön.
Analoginen jännitelähtö
Analoginen lähtö voidaan määrittää S4-Connect™:n tai RS232/RS485-liitännän avulla mihin tahansa skaalaukseen 0–10 V DC välillä. Analogilähdön skaalausominaisuuden avulla signaalia voidaan vahvistaa rajoitetun paineen alueella. Lisäksi on saatavilla laaja valikoima analogilähdön skaalausasetuksia eri valmistajien tyhjiömittareita ja -antureita varten.
Mukautetut asetukset
Anturi voidaan toimittaa mukautetulla konfiguraatiolla, joka sopii tiettyyn käyttötarkoitukseen. Esimerkkejä esimääritetyistä asetuksista ovat mittausalue, tyhjiön paineyksikkö, raja-arvo ja lähtösignaalin skaalaus. Mukautetut tuotteet merkitään yksilöllisellä tuotenumerolla, jotta niiden tilaaminen jatkossa on vaivatonta.
Esittelyvideo
Lue lisätietoja tuote-esitteestä
SENS4-VPM5-SmartPirani-Tyhjiöanturi-Datasheet-FI.pdf