Ceravac
Kapasitiivisen anturin keraamisen kalvon sisäpuoli on pinnoitettu sähköä johtavaksi ja se toimii sähköisen kapasitanssin toisena elektrodina. Kalvon muuttaessa paineen vaikutuksesta muotoa, elektrodien etäisyys muuttuu ja siten myös sähköinen kapasitanssi. Tämä muutos muunnetaan sähköiseksi signaaliksi. Kaasun koostumus tai ympäristön paineen vaihtelut eivät vaikuta mittaustulokseen. Herkän rakenteen ansiosta anturin mittausalue on noin neljä kertaluokkaa. Antureita valmistetaan eri paine-alueille.
Thermovac
THERMOVAC TTR 91/91S/96S piranianturit
Piran-tyyppisen tyhjiöanturin elektrodi on vakiolämpö-tilassa (120°C). Elektrodin lähellä olevat kaasuhiukkaset siirtävät energiaa elektrodilta. Se energiamäärä, joka tarvitaan lämpötilan pitämiseksi vakiona, on verrannollinen paitsi kaasumolekyylien määrää. Thermovac-anturin laaja mittausalue ja hyvä hinta-/suorituskykysuhde on tehnyt siitä erittäin suositun karkea- ja hienotyhjiöalueella.
THERMOVAC TTR 101/101S2
Pirani- ja kapasitiivisen anturin yhdistelmä. Samaan mittapäähän voidaan asentaa kaksi eri toimintaperiaatteella toimivaa anturia. Tällä tavalla voidaan saada yhdellä anturilla laaja mittausalue.
Ionivac
IONIVAC on pirani- ja kuumakatodi-ionisaatiomittarin yhdistelmä.
Mittausalue: 5E-10 mbar … 1000 mbar
Voidaan varustaa kotelon päätyyn integroidulla näytöllä ja PROFIBUS-väylällä.
Penningvac PTR 225 / PTR 225 S / PTR 237
PTR-sarjan aktiiviset tyhjiöanturit on kehitetty erityisesti integroitavaksi tyhjiöjärjestelmiin. Siinä on kestävä kylmäkatodi (Penning) mittapää laajalla mittausalueella. Tyypillisiä käyttökohteita ovat: tyhjiöpinnoituslaitteet, tyhjiöuunit, mittalaitteet sekä suurtyhjiöjärjestelmät joita ohjataan logiikalla.
GRAPHIX® ONE / TWO / THREE
GRAPHIX® ONE, TWO ja THREE ovat ohjaus- ja näyttölaitteita, jotka soveltuvat käytettäväksi aktiivisten CERAVAC, THERMOVAC, PENNINGVAC ja IONIVAC tyhjiöantureiden kanssa. 1-3 kanavaisten mallien 3,5” TFT-kosketusnäytössä näkyvät kaikkien kytkettyjen antureiden tiedot samanaikaisesti. Laitteissa on 25-väyläinen Sub-D ja FCC68 (RJ45) liittimet antureille sekä USB-liitäntä tietokoneelle.
